氣體輸送柜 GC
產(chǎn)品特性：可實(shí)現(xiàn)電子級(jí)特殊氣體的持續(xù)不間斷安全供應(yīng)。主要采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面或數(shù)顯按鈕式操作界面。
主要特點(diǎn)：自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷。
適用場(chǎng)合：主要適用于IC、TFT、Solar、LED等工廠特氣的供氣需求。
適用氣體：易燃/自燃性、腐蝕性、毒性，如SIH4,NF3,NH3,N2O,HCL等。
氣源供應(yīng)方式：Cylinder
